HOT ROLLED COPPER ALLOY SHEET FOR SPUTTERING TARGET AND SPUTTERING TARGET

摘要

연속 주조법에 의해 주조한 주괴를 열간 압연하여 이루어지는 열간 압연판으로서, Ca 를 0.5 ∼ 10.0 원자％ 함유하고, 잔부가 Cu 및 불가피적 불순물로 이루어지는 구리 합금으로 이루어지고, 또한 Cu 소지 중의 Cu-α 상 결정립의 평균 입경이 5 ∼ 60 ㎛ 의 범위 내에 있는 것을 특징으로 한다.