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发明名称 Method for passivating a compound semiconductor surface.
摘要
申请公布号 EP0351505(B1) 申请公布日期 1994.11.30
申请号 EP19890108122 申请日期 1989.05.05
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BUCHANAN, DOUGLAS ANDREW;CALLEGARI, ALLESSANDRO CESARE;HOH, PETER DAVID;LACEY, DIANNE LYNN
分类号 H01L21/318;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/318;H01L21/31 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
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