| 发明名称 |
ION IMPLANTATION FOR SUPERCONDUCTOR TAPE FABRICATION |
| 摘要 |
초전도체 테이프를 형성하는 방법은 기판 위에 초전도체 층을 증착시키는 단계; 초전도체 층의 표면 위에 제 1 금속을 포함하는 금속 층을 형성하는 단계; 및 합금 종들을 금속 층으로 주입시키는 단계를 포함하고, 합금 종들을 주입시킨 후에 제 1 금속은 금속 합금을 형성한다. |
| 申请公布号 |
KR20160090850(A) |
申请公布日期 |
2016.08.01 |
| 申请号 |
KR20167016690 |
申请日期 |
2014.11.14 |
| 申请人 |
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. |
发明人 |
WANG CONNIE P.;MURPHY PAUL;SULLIVAN PAUL;GODET LUDOVIC;SINCLAIR FRANK;EVANS MORGAN |
| 分类号 |
H01L39/24;H01B13/00;H01L39/14 |
主分类号 |
H01L39/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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