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发明名称 VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06326036(A) 申请公布日期 1994.11.25
申请号 JP19930133842 申请日期 1993.05.11
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 SETOGUCHI YOSHITAKA
分类号 C23C14/56;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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