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发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH06325712(A) 申请公布日期 1994.11.25
申请号 JP19930115966 申请日期 1993.05.18
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 KUWABARA HAJIME
分类号 H01J27/20;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J27/20
代理机构 代理人
主权项
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