| 发明名称 |
SUBSTRATE TREATING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06326223(A) |
申请公布日期 |
1994.11.25 |
| 申请号 |
JP19930110622 |
申请日期 |
1993.05.12 |
| 申请人 |
NIPPON SANSO KK |
发明人 |
YOSHINO MICHIMASA;KOSHIBA SHOHEI;YAMAZAKI TOSHIAKI;TABUCHI TOSHIYA |
| 分类号 |
C23C14/50;H01L21/324;H01L21/677;H01L21/68;H01L23/34;(IPC1-7):H01L23/34 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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