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发明名称 VAPOR DEPOSITION SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH06326025(A) 申请公布日期 1994.11.25
申请号 JP19930112766 申请日期 1993.05.14
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 KOMURA YUKIO;TOYOSAKI KOICHI;TAKAHASHI MICHIO
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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