| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING BURIED PLUG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06326095(A) |
申请公布日期 |
1994.11.25 |
| 申请号 |
JP19930113428 |
申请日期 |
1993.05.14 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
YAMAMOTO HIROSHI;TAKEYASU NOBUYUKI;OOTA TOMOHIRO |
| 分类号 |
C23C16/20;G01J1/42;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/90 |
主分类号 |
C23C16/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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