| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND SEMICONDUCTOR DEVICE, AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06326022(A) |
申请公布日期 |
1994.11.25 |
| 申请号 |
JP19930314693 |
申请日期 |
1993.12.15 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
DEGUCHI MIKIO;SUGUMOTO HIDEO;ARIMOTO SATOSHI |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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