| 发明名称 |
DISPLACEMENT-ERROR MEASURING METHOD USING CHARGED BEAM, CHARGED-BEAM PLOTTING DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE USING DISPLACEMENT-ERROR MEASURING MARK |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06326009(A) |
申请公布日期 |
1994.11.25 |
| 申请号 |
JP19940042865 |
申请日期 |
1994.03.14 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KOIKE TORU;MORI ICHIRO;TAKIGAMI YUJI;SUGIHARA KAZUYOSHI;MIYAGAKI ATSUSHI;KUSAKABE HIDEO;TAKAMATSU JUN |
| 分类号 |
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
