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发明名称 DUST PARTICLE EXPOSURE CHAMBER
摘要
申请公布号 JPH06326166(A) 申请公布日期 1994.11.25
申请号 JP19940077860 申请日期 1994.03.25
申请人 AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> 发明人 ROBAATO PIITAA FURANKENZARU;DEBITSUDO JIYOUJIFU SHIKONORUFUI;JIEIMUZU DAGURASU SHINKUREA
分类号 H01L21/66;G01N1/28;G01R31/26;G01R31/28;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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