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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR BASE BODY
摘要
申请公布号 JPH06326280(A) 申请公布日期 1994.11.25
申请号 JP19930135115 申请日期 1993.05.14
申请人 CANON INC 发明人 SAKAMOTO MASARU
分类号 H01L27/12;H01L21/02;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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