发明名称 |
ELECTRONIC COMPONENT AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06326103(A) |
申请公布日期 |
1994.11.25 |
申请号 |
JP19930230963 |
申请日期 |
1993.08.24 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
TOYODA HIROSHI;HASUNUMA MASAHIKO;KANEKO HISAFUMI;TOMITA HIROSHI;KAWANOUE TAKASHI;KAJITA AKIHIRO;KAWAKUBO TAKASHI;MIYAUCHI MASAMI;ITOU YOSHIYO |
分类号 |
H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;H01L29/43;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/90;H01L29/46 |
主分类号 |
H01L21/285 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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