发明名称 ELECTRONIC COMPONENT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06326103(A) 申请公布日期 1994.11.25
申请号 JP19930230963 申请日期 1993.08.24
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TOYODA HIROSHI;HASUNUMA MASAHIKO;KANEKO HISAFUMI;TOMITA HIROSHI;KAWANOUE TAKASHI;KAJITA AKIHIRO;KAWAKUBO TAKASHI;MIYAUCHI MASAMI;ITOU YOSHIYO
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;H01L29/43;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/90;H01L29/46 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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