| 发明名称 |
THIN FILM TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06326314(A) |
申请公布日期 |
1994.11.25 |
| 申请号 |
JP19930132338 |
申请日期 |
1993.05.12 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TANAKA TAKESHI;KAWACHI GENSHIROU;ONO KIKUO;OGAWA KAZUHIRO;SHINAGAWA TAKAAKI;ASUMA HIROAKI |
| 分类号 |
H01L29/78;B21B1/08;B21B45/02;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/784 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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