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发明名称 IONIZER FOR CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH06325894(A) 申请公布日期 1994.11.25
申请号 JP19930163510 申请日期 1993.07.01
申请人 TECHNO RYOWA:KK 发明人 TORIYAMA MASAKI;SUZUKI KUNIO
分类号 F24F7/06;H01T19/04;H01T23/00;H05F3/04;(IPC1-7):H05F3/04 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
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