| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06326320(A) |
申请公布日期 |
1994.11.25 |
| 申请号 |
JP19930136866 |
申请日期 |
1993.05.15 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
ARAI HARUKI;TAKAGI YOSUKE;OHATA TAMOTSU |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/088;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/784 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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