| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SI SUBSTRATE AND MANUFACTURE OF THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06326044(A) |
申请公布日期 |
1994.11.25 |
| 申请号 |
JP19940015340 |
申请日期 |
1994.02.09 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
HONMA YOSHINORI;TOMITA MITSUHIRO;YAMAZAKI HIDEYUKI;AMAI TSUTOMU |
| 分类号 |
C30B15/20;C30B29/06;H01L21/02;H01L21/208;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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