发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS BURN-IN METHOD
摘要
申请公布号 JPH06324108(A) 申请公布日期 1994.11.25
申请号 JP19940043869 申请日期 1994.03.15
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KURODA TADAHIRO;NODA MAKOTO
分类号 G01R31/26;G01R31/317;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26;G01R31/318 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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