发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06326055(A) 申请公布日期 1994.11.25
申请号 JP19930113549 申请日期 1993.05.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YUKI KOICHI
分类号 H01L21/28;C25D5/02;C25D5/34;C25D5/48;C25D7/12;H01L21/288;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/288;H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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