| 发明名称 |
NEUTRAL PARTICLE PROCESSING AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06326039(A) |
申请公布日期 |
1994.11.25 |
| 申请号 |
JP19930135126 |
申请日期 |
1993.05.14 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
TSUCHIZAWA YASUSHI;JIN YOSHITO;SHIMADA MASARU;ONO TOSHIRO;MATSUO SEITARO |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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