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发明名称 METHOD OF FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH06326027(A) 申请公布日期 1994.11.25
申请号 JP19930108990 申请日期 1993.05.11
申请人 CANON INC 发明人 SUZUKI NOBUMASA
分类号 C23C16/40;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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