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Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur ortsaufgelösten Bestimmung des spezifischen elektrischen Widerstandes und/oder der spezifischen elektrischen Leitfähigkeit einer Probe und/oder mindestens einer auf einer Oberfläche einer Probe ausgebildeten Schicht an unterschiedlichen Positionen. Dabei sind mehrere Detektoren, die zur ortsaufgelösten spektralen Analyse elektromagnetischer Strahlung innerhalb eines Wellenlängenintervalls ausgebildet sind, in einer Reihen oder einer Reihen- und Spaltenanordnung angeordnet. Die Detektoren sind mit einer elektronischen Auswerteeinheit verbunden und so angeordnet, dass von einer breitbandigen Strahlungsquelle emittierte elektromagnetische Strahlung entweder nach einer Reflexion an der Oberfläche der Probe, einer auf der Probe ausgebildeten Schicht oder an der Oberfläche einer Schicht innerhalb der Probe und/oder nach dem Durchstrahlen einer für die elektromagnetische Strahlung transparenten Probe auf die Detektoren auftrifft. Die Bestrahlung erfolgt so, dass auf einer Fläche, von der die elektromagnetische Strahlung reflektiert oder durch die Fläche transmittiert wird, eine homogene Intensität der elektromagnetischen Strahlung eingehalten ist. Die elektronische Auswerteeinheit so ausgebildet ist, dass die orts- und wellenlängenaufgelöst erfassten Messsignale der Detektoren innerhalb eines Wellenlängenintervalls für jede erfasste Position, mit einer wellenlängenaufgelösten Funktion, die durch Berechnung der Ausbreitung elektromagnetischer Strahlung in Mehrschichtsystemen, insbesondere unter Berücksichtigung der der Fresnelschen Formeln, unter Verwendung eines optischen Modells zur physikalischen Beschreibung der untersuchten Probe, unter Berücksichtigung der wellenlängenabhängigen Verläufe der linearen optischen Brechungsindizes n und Absorptionskoeffizienten k aller, die Probe bildenden Materialien und/oder Werkstoffe, wobei die des interessierenden Materials oder Werkstoffs durch eine physikalische Funktion (Beschreibung) des komplexen Brechungsindex des leitfähigen Materials oder Werkstoffs, verglichen werden, und durch eine vorteilhafte Änderung von der Parametern der physikalischen Funktion iterativ zu einer hinreichenden Deckung mit einem Kalibrierkurvenverlauf gebracht werden, um den spezifischen elektrischen Widerstand und/oder die spezifische elektrische Leitfähigkeit an verschiedenen Positionen ortsaufgelöst bestimmen zu können. |
