| 发明名称 |
FORMATION METHOD OF THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06326076(A) |
申请公布日期 |
1994.11.25 |
| 申请号 |
JP19930132936 |
申请日期 |
1993.05.11 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
NAKADA JOJI;IMAI KAZUO |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/306;H01L21/66;H01L29/84;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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