发明名称 Systeme und Verfahren zum Aktualisieren eines Ventilauslösestroms in Massenströmungssteuerungen bzw. Regelungen
摘要 Ventilsystem zum Ermöglichen einer Aktualisierung eines Ventilauslösestromes einer Massenströmungsteuerung (500), wobei die Massenströmungssteuerung (500) dafür ausgelegt ist, eine Strömungsrate eines Fluides zu steuern, wobei das Ventilsystem umfasst: ein Ventil (210; 550), das zwischen einer offenen Position und einer geschlossenen Position bewegbar ist, um die Strömungsrate des Fluides an einen gewünschten Einstellpunkt anzugleichen, wobei das Ventil (210; 550) dafür ausgelegt ist, mit der Bewegung zu der offenen Position dann zu beginnen, wenn ein Ventilstrom durch das Ventil (210; 550) im Wesentlichen gleich dem Ventilauslösestrom ist; und eine Ventilsteuerung (220; 560), die dafür ausgelegt ist, das Ventil (210; 550) dafür zu steuern, die Strömungsrate des Fluides anzugleichen, bis eine tatsächliche gemessene Strömungsrate des Fluides im Wesentlichen gleich dem gewünschten Einstellpunkt ist, wobei die Steuerung (220; 560) des Weiteren ausgelegt ist zum: Überwachen (410) des Ventilstromes und der Strömungsrate des Fluides, während sich das Ventil (210; 550) zu der geschlossenen Position bewegt und der Ventilstrom und die Strömungsrate beide abnehmen; Messen (420) eines Wertes des Ventilstromes, wenn das Fluid eine Strömungsrate von beinahe Null aufweist; und Aktualisieren (430) des Ventilauslösestromes für einen nächsten Durchlauf der Massenströmungssteuerung (500) durch Einstellen des aktualisierten Ventilauslösestromes auf den Wert des Ventilstromes bei der Strömungsrate von beinahe Null.
申请公布号 DE112009001473(B4) 申请公布日期 2016.09.08
申请号 DE20091101473T 申请日期 2009.01.21
申请人 MKS Instruments Inc. 发明人 Ding, Junhua
分类号 G05D7/06;F16K31/02;F16K31/06;G01F1/76 主分类号 G05D7/06
代理机构 代理人
主权项
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