摘要 |
Ventilsystem zum Ermöglichen einer Aktualisierung eines Ventilauslösestromes einer Massenströmungsteuerung (500), wobei die Massenströmungssteuerung (500) dafür ausgelegt ist, eine Strömungsrate eines Fluides zu steuern, wobei das Ventilsystem umfasst: ein Ventil (210; 550), das zwischen einer offenen Position und einer geschlossenen Position bewegbar ist, um die Strömungsrate des Fluides an einen gewünschten Einstellpunkt anzugleichen, wobei das Ventil (210; 550) dafür ausgelegt ist, mit der Bewegung zu der offenen Position dann zu beginnen, wenn ein Ventilstrom durch das Ventil (210; 550) im Wesentlichen gleich dem Ventilauslösestrom ist; und eine Ventilsteuerung (220; 560), die dafür ausgelegt ist, das Ventil (210; 550) dafür zu steuern, die Strömungsrate des Fluides anzugleichen, bis eine tatsächliche gemessene Strömungsrate des Fluides im Wesentlichen gleich dem gewünschten Einstellpunkt ist, wobei die Steuerung (220; 560) des Weiteren ausgelegt ist zum: Überwachen (410) des Ventilstromes und der Strömungsrate des Fluides, während sich das Ventil (210; 550) zu der geschlossenen Position bewegt und der Ventilstrom und die Strömungsrate beide abnehmen; Messen (420) eines Wertes des Ventilstromes, wenn das Fluid eine Strömungsrate von beinahe Null aufweist; und Aktualisieren (430) des Ventilauslösestromes für einen nächsten Durchlauf der Massenströmungssteuerung (500) durch Einstellen des aktualisierten Ventilauslösestromes auf den Wert des Ventilstromes bei der Strömungsrate von beinahe Null. |