发明名称 Laserinterferometer.
摘要
申请公布号 DE69011289(T2) 申请公布日期 1994.11.24
申请号 DE1990611289T 申请日期 1990.11.20
申请人 RENISHAW PLC, WOTTON-UNDER-EDGE, GLOUCESTERSHIRE, GB 发明人 CHANEY, RAYMOND JOHN, BERKELEY, GLOUCESTERSSHIRE GL13 9SF, GB
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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