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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0695523(B2) 申请公布日期 1994.11.24
申请号 JP19870319270 申请日期 1987.12.16
申请人 发明人
分类号 H01L29/205;H01L21/331;H01L29/68;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/205
代理机构 代理人
主权项
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