发明名称 Halbleiterintegrierte Schaltung mit Prüffunktion.
摘要
申请公布号 DE3750674(D1) 申请公布日期 1994.11.24
申请号 DE19873750674 申请日期 1987.12.15
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 YAMASHITA, KOICHI, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 215, JP
分类号 H01L21/66;G01R31/28;G01R31/3183;G01R31/3185;G06F11/22;G06F11/27;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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