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发明名称 Entladungsgepumpter Gaslaser mit Baffle-Trennung für kontrollierten Gasfluss an Vorionisierern.
摘要
申请公布号 DE69200247(T2) 申请公布日期 1994.11.24
申请号 DE19926000247T 申请日期 1992.04.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., KADOMA, OSAKA, JP 发明人 ONO, TAKUHIRO, ZAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;HORIUCHI, NAOYA, KAWASAKI, JP;YAMANAKA, KEIICHIRO, KAWASAKI, JP;TAKAHATA, KENICHI, KAWASAKI, JP;FURUYA, NOBUAKI, KAWASAKI, JP;MIYATA, TAKEO, ZAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 H01S3/036;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/036 主分类号 H01S3/036
代理机构 代理人
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