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发明名称 Mehrschichtige Keramik aus hydrogeniertem Silsequioxan.
摘要
申请公布号 DE3789606(T2) 申请公布日期 1994.11.24
申请号 DE19873789606T 申请日期 1987.12.03
申请人 DOW CORNING CORP., MIDLAND, MICH., US 发明人 HALUSKA, LOREN ANDREW, MIDLAND MICHIGAN, US;MICHAEL, KEITH WINTON, MIDLAND MICHIGAN, US;TARHAY, LEO, SANFORD MICHIGAN, US
分类号 H01L21/312;C04B41/50;C04B41/52;C04B41/87;C04B41/89;C23C18/12;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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