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发明名称 Ionen-Implantation in In-basierten III-V-Verbindungshalbleitern.
摘要
申请公布号 DE3889597(T2) 申请公布日期 1994.11.24
申请号 DE19883889597T 申请日期 1988.07.21
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH CO., NEW YORK, N.Y., US 发明人 WANG, KOU-WEI, PISCATAWAY NEW JERSEY 08854, US
分类号 H01L21/265;H01L21/324;H01L21/337;H01L29/808;H01L31/107;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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