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发明名称 Chemical vapor phase growth method and chemical vapor phase growth apparatus
摘要
申请公布号 GB2261444(B) 申请公布日期 1994.11.23
申请号 GB19920023675 申请日期 1992.11.12
申请人 * FUJITSU LIMITED 发明人 AKITO * MIFUNE
分类号 C23C16/44;C23C16/42;C23C16/455;C30B25/14;C30B25/16;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/42 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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