| 发明名称 |
DEVICE FOR HEATING SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06321684(A) |
申请公布日期 |
1994.11.22 |
| 申请号 |
JP19930115624 |
申请日期 |
1993.05.18 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KARASAWA TAKESHI;MITSUYU TSUNEO |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/34;C23C14/50;C23C16/46;C30B23/08;C30B25/10;C30B25/12;H05B3/00;(IPC1-7):C30B25/10 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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