发明名称 |
SELECTED PHENOLIC DERIVATIVE OF 4-(4-HYDROXYPHENYL)CYCLOHEXANONE, USE OF IT AS SENSITIZER FOR RADIATION-SENSITIVE MIXTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06321835(A) |
申请公布日期 |
1994.11.22 |
申请号 |
JP19940066198 |
申请日期 |
1994.04.04 |
申请人 |
O C G MICROELECTRON MATERIALS INC |
发明人 |
ARUFURETSUDO TEII JIEFURIIZU ZA SAADO |
分类号 |
C07C39/16;C07C39/17;G03F7/022;G03F7/039;(IPC1-7):C07C39/16 |
主分类号 |
C07C39/16 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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