发明名称 SELECTED PHENOLIC DERIVATIVE OF 4-(4-HYDROXYPHENYL)CYCLOHEXANONE, USE OF IT AS SENSITIZER FOR RADIATION-SENSITIVE MIXTURE
摘要
申请公布号 JPH06321835(A) 申请公布日期 1994.11.22
申请号 JP19940066198 申请日期 1994.04.04
申请人 O C G MICROELECTRON MATERIALS INC 发明人 ARUFURETSUDO TEII JIEFURIIZU ZA SAADO
分类号 C07C39/16;C07C39/17;G03F7/022;G03F7/039;(IPC1-7):C07C39/16 主分类号 C07C39/16
代理机构 代理人
主权项
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