| 发明名称 |
SURFACE TREATMENT FOR STAINLESS STEEL MATERIAL FOR SEMICONDUCTOR-MANUFACTURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06322512(A) |
申请公布日期 |
1994.11.22 |
| 申请号 |
JP19930131441 |
申请日期 |
1993.05.07 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
TOMARI HARUO;HASHIMOTO IKUO;WADA KOJI |
| 分类号 |
C23C8/02;C23C8/14;C23C14/00;C23C14/02;C23C14/08;(IPC1-7):C23C8/14;C23C22/00 |
主分类号 |
C23C8/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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