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发明名称 SIMULTANEOUS BOTH-SIDED POLISHING METHOD FOR CONDUCTIVE MATERIAL TO BE MACHINED
摘要
申请公布号 JPH06320406(A) 申请公布日期 1994.11.22
申请号 JP19930114737 申请日期 1993.05.17
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 HARA NOBUHIRO
分类号 B24B7/17;(IPC1-7):B24B7/17 主分类号 B24B7/17
代理机构 代理人
主权项
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