发明名称 |
FORMING METHOD AND TREATING METHOD OF SEMICONDUCTOR DIAMOND FILM |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH06321690(A) |
申请公布日期 |
1994.11.22 |
申请号 |
JP19930111526 |
申请日期 |
1993.05.13 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
DEGUCHI MASAHIRO;KITAHATA MAKOTO;HIRAO TAKASHI |
分类号 |
C30B25/02;C30B29/04;C30B33/02;C30B33/04;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/04 |
主分类号 |
C30B25/02 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|