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发明名称 Integrated circuit and process especially for evaluation of stress of thin films on the silicon substrate
摘要
申请公布号 IT1246395(B) 申请公布日期 1994.11.18
申请号 IT19900021010 申请日期 1990.07.20
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 COGLIATI DAVIDE PIERO
分类号 G01L;(IPC1-7):G01L 主分类号 G01L
代理机构 代理人
主权项
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