| 发明名称 |
METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS551169(A) |
申请公布日期 |
1980.01.07 |
| 申请号 |
JP19790031130 |
申请日期 |
1979.03.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TOMOSAWA AKIHIRO;NIINO KAORU;TSUNEMATSU MASAYASU |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/22;H01L21/822 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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