发明名称 Metalloxid-Material.
摘要
申请公布号 DE68916302(T2) 申请公布日期 1994.11.17
申请号 DE1989616302T 申请日期 1989.03.23
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 AKIMITSU, JUN, MEGURO-KU TOKYO, JP;DEN, TORU, SETAGAYA-KU TOKYO, JP;KISHI, FUMIO, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;KANEKO, NORIO, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;AKAIKE, MASATAKE, ATSUGI-SHI KANAGAWA -KEN, JP;NIIZUMA, KIYOZUMI, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;TANAKA, ATSUKO, MACHIDA-SHI TOKYO, JP
分类号 C04B35/00;C01G1/00;C01G29/00;C04B35/45;C04B35/626;C23C14/08;C23C16/30;H01B12/00;H01L39/12;H01L39/24;(IPC1-7):C04B35/00 主分类号 C04B35/00
代理机构 代理人
主权项
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