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发明名称 Belichtungseinrichtung.
摘要
申请公布号 DE3750174(T2) 申请公布日期 1994.11.17
申请号 DE19873750174T 申请日期 1987.10.29
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MURAKI, MASATO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;AKETAGAWA, MASATO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;SHIOZAWA, TAKAHISA, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/32;G02B26/10 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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