| 发明名称 |
Cleaning method and cleaning apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU7284094(A) |
申请公布日期 |
1994.11.17 |
| 申请号 |
AU19940072840 |
申请日期 |
1994.09.09 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA;JAPAN FIELD COMPANY LTD |
发明人 |
MINORU INADA;YASUTAKA IMAJO;MASAHIDE UCHINO |
| 分类号 |
B01D53/26;B08B3/04;B08B3/08;C11D7/24;C11D7/26;C11D7/28;C11D7/50;C11D11/00;C23G5/02;C23G5/028;C23G5/032;C23G5/04;H05K3/26;(IPC1-7):B08B3/08 |
主分类号 |
B01D53/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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