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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0691954(B2)
申请公布日期
1994.11.16
申请号
JP19880149133
申请日期
1988.06.16
申请人
发明人
分类号
C23C16/36;B01J3/06;(IPC1-7):B01J3/06
主分类号
C23C16/36
代理机构
代理人
主权项
地址
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