发明名称 Method of preparing semicaonductor with good intrinsic gettering
摘要
申请公布号 GB9419512(D0) 申请公布日期 1994.11.16
申请号 GB19940019512 申请日期 1993.03.26
申请人 MITEL CORPORATION 发明人
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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