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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0693463(B2)
申请公布日期
1994.11.16
申请号
JP19900217251
申请日期
1990.08.20
申请人
发明人
分类号
H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331
主分类号
H01L29/73
代理机构
代理人
主权项
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