宽量程微型电离规

摘要

本发明涉及一种宽量程微型电离规，主要用于10^-1—10^-9Pa压强范围的量测，属超高真空量测技术领域。该电离规由玻璃壳、阳极、离子收集极、电子发射极和金属膜电极其部分组成。阳极为一用金属丝做成的圆环，离子收集极为一金属丝编织的网，电子发射体可以是Spindt型场致发射源。电子发射体和离子收集极相对阳极同轴对称设置于玻璃壳体内，金属膜电极附着在玻璃壳内壁上。本发明具有整体尺寸小，测量灵敏度高、量程宽和吸、放气率低等优点。

主权项

1、一种宽量程微型电离规，包括玻璃壳、阳极、离子收集极，其特征在于还包括电子发射体和金属膜电极；所述的阳极为一圆环；所述的离子收集极为一金属丝编织网；所述的电子发射体和离子收集极相对阳极同轴对称设置在玻璃壳体内；金属膜电极附着在玻璃壳内壁上。