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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0693438(B2) 申请公布日期 1994.11.16
申请号 JP19860296131 申请日期 1986.12.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;F27B17/00;G01K7/02;H01L21/22;H01L21/26;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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