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发明名称 Fremgangsmåte for å gjöre mikrostrukturer plane
摘要
申请公布号 NO944384(D0) 申请公布日期 1994.11.16
申请号 NO19940004384 申请日期 1994.11.16
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO 发明人 MUMOLA, PETER B.
分类号 H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/3105;(IPC1-7):B05D 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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