| 发明名称 |
ELECTRON BEAM DEVICE WITH ELECTRON GUN MOUNTED THEREON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06318441(A) |
申请公布日期 |
1994.11.15 |
| 申请号 |
JP19930107824 |
申请日期 |
1993.05.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD |
发明人 |
KAGA HIROYASU;YANAGISAWA AKIRA;HIRANE KENICHI |
| 分类号 |
H01J37/073;H01L21/027;H01L21/263;(IPC1-7):H01J37/073 |
主分类号 |
H01J37/073 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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