| 发明名称 |
CLEANING METHOD FOR SURFACE OF SUBSTRATE FOR SUPERCONDUCTING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06318742(A) |
申请公布日期 |
1994.11.15 |
| 申请号 |
JP19930105573 |
申请日期 |
1993.05.06 |
| 申请人 |
KOMATSU LTD |
发明人 |
AOYAMA IKUHITO;NAKAMURA KOZO |
| 分类号 |
C01G1/00;C04B41/80;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 |
主分类号 |
C01G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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