| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR ENERGY BEAM DETECTOR AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06318688(A) |
申请公布日期 |
1994.11.15 |
| 申请号 |
JP19930107024 |
申请日期 |
1993.05.07 |
| 申请人 |
HAMAMATSU PHOTONICS KK |
发明人 |
MURAMATSU MASAHARU;SUYAMA MOTOHIRO;YAMAMOTO AKINAGA |
| 分类号 |
H01L27/14;(IPC1-7):H01L27/14 |
主分类号 |
H01L27/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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